武汉某半导体设备集成块研发厂,晶圆手工加工过程中中引发含硅、氟的特殊的化工废水整理工艺,制作治疗的规模1200吨/日。化工废水整理工艺成份繁杂,包含有微米级硅粒状及氢佛酸,传统式治疗方式方法根本无法达到标准。
生活污水成分表及源于
主要是生态破坏物
:胶体溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
的来源道工序
:晶圆刻蚀化工电镀废水(45%)、CMP化学式厂家打磨抛光化工电镀废水(40%)、仪器清扫冲洗水(15%)
外理施工工艺方案
多元化按照"化学工业石雕文化沉淀+特种作业膜分离法"枝术路线图:
钙盐积累
:加药氯化钙我们要除氟铝离子(提取CaF2奠定)
二沉池不良反应
:混合二沉池剂完成胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔经膜挪作他用微细颗粒状
反融于程序
:脱盐率>98%,收旧率75%
减压蒸馏析出
:浓水段完成氟化物零排出
既定视觉效果
氟化物溶液浓度:<8mg/L(降至国家四级标准化10mg/L)
硅量:<5mg/L
水影视资源使用率:70%使用于急冷塔保湿补水
危废处理回收利用:减压蒸馏渣子量较传统的工序限制60%