某半导体设备心片生产厂在晶圆加工生产的过程中，选择硅烷做出硅本质种子发芽，氮氧化合物洗滌塔行成高密度含硅工业焦化废水。工业焦化废水具备pH起伏大（2-11）、硅水平高的特殊性，傳統正确处理的方式易有硅垢不通大问题。 废气材质及主要来源 废水处理大部分成份为： 融解性硅酸盐 ：SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢空气氧化钠 ：洗條塔酸碱度洗條液残余的 小粒硅 ：nm级SiO₂溶液 痕量砷 ：原材硫氰酸盐携带 治理 加工过程步骤流程 多元化使用"多级结合+膜滤水+蒸发器晶体"新工艺： 1阶段与 ：用CaO调试pH至4-5，转成硅酸钙发展，硅弄掉率60%。 下级与 ：加Na₂CO₃将pH改善至9，进十步沉淀物中剩于硅，串连用镁剂除砷。 反渗透膜整体 ：0.02μm陶瓷厂家膜过滤水nm级硅顆粒，通量安全稳定在80LMH。 MVR汽化器 ：浓缩提炼高盐废污水，成果出Na₂SO₄副货品，水中水回用率超90%。 终究视觉效果 总硅从1500mg/L调至5mg/L有以下 砷含铁从0.8mg/L高于0.01mg/L 软件无积灰运作高达2年 每人每年回收处理盐酸钠晶状体约800吨